专利摘要显示，本发明涉及一种超纯羟基乙叉二膦酸生产系统及方法，旨在将工业级羟基乙叉二膦酸提纯至99.9％wt以上，满足半导体行业SEMI‑C12G4及以上标准，该方法包括溶解、微滤、阴阳离子脱除、纳滤、结晶、干燥和精馏等步骤，原料羟基乙叉二膦酸与溶剂混合后，通过微滤器去除大颗粒，再经阴阳离子脱除器去除金属离子和非金属离子，纳滤器去除更小颗粒，结晶后，通过干燥器干燥得到高纯度产品，废液经精馏塔回收溶剂循环利用。本发明具有产品金属含量、硅含量、砷含量和硼含量均低于50ppb，显著优于国家标准；本发明工艺简单、连续性强，有效提高了产品的纯度和质量，降低了杂质含量，具有显著的经济效益和环保优势。