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5月12日,万华节能科技集团股份有限公司(简称“万华节能”)宣布,中国石化集团资本有限公司(简称“中国石化资本”)依托旗下氢能基金,完成对烟台万华电子材料有限公司(简称“万华电子材料”)的亿级资金战略注资,进一步完善半导体材料产业版图。
万华电子材料成立于2018年1月,由万华节能控股,是一家专注电子特气及普通工业气体研发、生产与销售的企业,核心产品覆盖甲硅烷、乙硅烷,法定代表人为王耀西,位于山东省烟台市经济技术开发区,注册资本16720.0778万元。其乙硅烷、甲硅烷中试纯度分别达5N、7N级别,性能对标国际先进水平。 作为中国石化旗下产业资本投资平台,中国石化资本聚焦新能源、新材料等新兴产业,采用“直投+基金”双轮驱动模式布局半导体材料赛道,此前已战略投资晶瑞电材子公司瑞红苏州、万润股份等企业,覆盖光刻胶、电子化学品等关键领域。本次入股万华电子材料,是其在半导体电子特气、高端电子材料领域的关键落地布局。 自成立以来,万华电子材料深耕硅烷特气国产化攻坚,持续推进技术迭代与产能扩张。2021年12月,公司年产140吨硅烷产品项目(甲硅烷90吨、乙硅烷50吨)环评公示,总投资约5.97亿元;2024年完成A轮及A +轮融资,投资方包括业达创投、毅达资本、源禾资本、格力金投等,同步完成烟台开发区年产140吨硅烷类产品生产线(一期)建设;2025年10月,投资成立万华电子材料(湖北)有限公司(持股40%),同年12月赴四川纳溪区洽谈氘代电子特气产业合作,拓宽高端特气布局。 技术层面,公司自主研发硅化镁法工艺,将乙硅烷合成率稳定在30%以上。2026年1月,高纯度乙硅烷实现规模化、稳定化量产,量产纯度超99.998%(4.8N),建成全球单套产能最大的乙硅烷生产装置,攻克先进制程“卡脖子”材料难题。 乙硅烷是14纳米以下先进制程及3D NAND存储芯片堆叠的关键材料,此前长期依赖进口。此次产融协同,双方将整合产业、技术与资本资源,助力万华电子材料扩大产能、拓展高端特气矩阵,推动我国半导体电子特气自主可控与产业高质量发展。 |